9000型是一个基于弹簧作用于膜片操作原理的背压调节阀，设计用于特殊的小流量气体的应用。背压阀控制入口压力而不是控制出口压力，操作上类似于安全阀。产品结构紧凑，可精确调节压力，并且能维持入口压力不随流量变化而变化。
设计特点
• 精确调节
• 软阀座
• 全棒料结构
• 压力表连接口
• 适合面板安装
产品规格
流量范围 ： 0-1000 sccm
最大操作温度： 160℉(71℃)
性能： 流量灵敏度（偏差）：请详见A图
-------精确调节（分辩率）： 15转
压力调节范围： 0-15 psig(0-103.4KPa)
--------------0-30 psig(0-206.9KPa)
--------------0-60 psig(0-413.7KPa)
--------------0-100 psig(0-689.5KPa)
连接 ：入口、出口和表接口均为 1/8”Swagelok
结构材质
主体：铝或不锈钢
阀帽：铝
孔：铜不锈钢
阀座： Viton
隔膜： Fairprene BN-5029（Buna N在尼龙上）或不锈钢
范围弹簧：琴线